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High Efficiency RF Induction Plasma Generation
http://hdl.handle.net/10655/3650
http://hdl.handle.net/10655/36504f4f1d99-e6f1-4118-9495-adda754abbe2
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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ANREP05-06-341.pdf (630.0 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper_02(1) | |||||||||||||||
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| 公開日 | 2010-02-15 | |||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||
| タイトル | High Efficiency RF Induction Plasma Generation | |||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||
| 著者 |
Uesugi, Y.
× Uesugi, Y.
× Hanaoka, E.
× Tanaka, Y.
× Ohno, N.
× Tanaka, M.
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| 所属 | ||||||||||||||||
| Kanazawa Univ. | ||||||||||||||||
| 書誌情報 | 巻 Annual Report Apr.2005 - Mar.2006 | |||||||||||||||
| 節 | ||||||||||||||||
| 4月16日 | ||||||||||||||||
| ページ | ||||||||||||||||
| 開始ページ | 341 | |||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0917-1185 | |||||||||||||||
